Nanometrische Positionsbestimmung mittels Interferenz-Holographie - Feige, Volker Klaus Sven 1972- (2003)
Wuppertal, Univ., Diss., 2003
Keywords: Lagemessung; Holographische Interferometrie; Nanometerbereich; Rastersondenmikroskop; Positionierung; Hochschulschrift