Gespeichert in:
| Titel: | Untersuchungen zum magnetfeldgestützten Hochrate-Plasmaätzen im Schichtsystem SiO2/Si mit homogenem Magnetfeld |
|---|---|
| Von: |
Andreas Braune
|
| Person: |
Braune, Andreas
1981- Verfasser aut |
| Hauptverfasser: | |
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | Deutsch |
| Veröffentlicht: |
1987
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| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | 136 Bl. Ill. |
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